尺寸效应对TiC/α-C∶H涂层织构行为的影响

苏亚东¹，王向明¹，王华明²，郑伟涛³

1. 中航工业沈阳飞机设计研究所2. 北京航空航天大学材料科学与工程学院3. 吉林大学材料科学与工程学院

摘 要：利用磁控溅射法制备了TiC/α-C∶H纳米复合涂层尺寸效应,并对涂层择优取向的影响进行了研究。通过改变涂层中的C含量来调节晶粒尺寸,发现晶粒尺寸对晶粒的择优取向有着重要影响。随着晶粒尺寸减小,TiC的择优取向从面心立方（111）向（200）转变。这种择优取向的尺寸依赖效应可以用热力学来解释。通过计算与尺寸相关的吉布斯自由能解释了尺寸效应与涂层择优取向的关系。

关键词：TiC/α-C∶H纳米复合薄膜;尺寸效应;择优取向;