高温快速退火对电子束物理气相沉积制备高硅硅钢片的影响
来源期刊：功能材料2007年第10期
论文作者：赫晓东 孙跃 李晓
关键词：高温快速退火; 高硅硅钢片; 电子束物理气相沉积;
摘 要：对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理.用SEM,EDS,XRD对制备态硅钢片和热处理态组织,成分,物相进行了表征,并测试了其电阻率和磁滞回线.结果表面:高温快速退火使高硅硅钢片硅成分变均匀,靠近基板侧的相由Fe3Si变成DO3;硅钢片中孔长大,电阻率从90μΩ·m增大到160μΩ·m,矫顽力减小,磁感应强度减小.
赫晓东1，孙跃1，李晓1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理.用SEM,EDS,XRD对制备态硅钢片和热处理态组织,成分,物相进行了表征,并测试了其电阻率和磁滞回线.结果表面:高温快速退火使高硅硅钢片硅成分变均匀,靠近基板侧的相由Fe3Si变成DO3;硅钢片中孔长大,电阻率从90μΩ·m增大到160μΩ·m,矫顽力减小,磁感应强度减小.
关键词:高温快速退火; 高硅硅钢片; 电子束物理气相沉积;
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