PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟
来源期刊：功能材料2004年增刊第1期
论文作者：李明伟 单英春 赫晓东 李垚 史丽萍
关键词：物理气相沉积; 蒙特卡罗模拟; 薄膜生长;
摘 要：蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法.本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的Monte Carlo模拟.详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法.最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法.
李明伟1，单英春1，赫晓东1，李垚1，史丽萍1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料研究所,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:蒙特卡罗(Monte Carlo,MC)和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法.本文结合各种PVD技术的工艺特点,介绍了薄膜生长的Monte Carlo模拟.详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的Kinetic Monte Carlo模型和算法.最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法.
关键词:物理气相沉积; 蒙特卡罗模拟; 薄膜生长;
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