半导体硅材料的现状和发展趋势
来源期刊：中国有色金属1997年第11期
论文作者：周昆
文章页码：34 - 65
摘 要：<正> 在当今的信息社会中,集成电路工业作为战略性的基础工业,其技术水平和产业规模已成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志。硅单晶抛光片是微电子技术中最重要的基础功能材料,随着超大规模集成电路集成度的迅速提高,芯片面积增大,线宽越来越细,不仅要求抛光片直
周昆
摘 要：<正> 在当今的信息社会中,集成电路工业作为战略性的基础工业,其技术水平和产业规模已成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志。硅单晶抛光片是微电子技术中最重要的基础功能材料,随着超大规模集成电路集成度的迅速提高,芯片面积增大,线宽越来越细,不仅要求抛光片直
关键词：
