Al₂O₃含量对纳米FeCo/Al₂O₃复合薄膜结构和磁性影响

马跃¹，冯明^1,2，徐仕翀^1,2，李海波^1,2，刘梅^1,2

1. 吉林师范大学功能材料物理与化学教育部重点实验室2. 吉林师范大学物理国家级实验教学示范中心

摘 要：采用溶胶-凝胶旋涂法,结合在氢气中的还原工艺,在Si（001）基片上制备FeCo/Al₂O₃复合薄膜,利用X射线衍射和振动样品磁强计研究Al₂O₃含量对薄膜样品的微观结构和磁性的影响。结果表明:随Al₂O₃含量增加,FeCo晶粒尺寸减小,FeCo/Al₂O₃复合薄膜矫顽力递减,饱和磁化强度先增大后减小,说明Al₂O₃的存在可有效抑制FeCo晶粒生长,但Al₂O₃含量过高不利于复合薄膜软磁性能的优化。

关键词：溶胶-凝胶旋涂;FeCo/Al2O3薄膜;结构;磁性;