掺氮类金刚石薄膜激光退火的Raman光谱分析
来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期
论文作者：汤定元 夏义本 李志锋 郑国珍 史伟民 居建华 黄志明 张伟丽 王林军
关键词：类金刚石薄膜; 激光退火; 拉曼光谱; 热稳定性;
摘 要：采用显微拉曼光谱研究了掺氮的类金刚石薄膜,该薄膜分别经过能量密度为300,750和1500W/mm2氩离子激光的退火处理。分析结果表明氮原子在类金刚石薄膜中形成了C－N键制约了C－H键的形成。由于C－N键的键能比C－H键的键能大得多，因此在激光退火过程中C－N键不易分解。所以随着氮含量的增加，类金刚石薄膜的激光退火后石墨化程度明显降低，具有比较好的热稳定性。而非掺氮的类金刚石薄膜由于C－H键含量比较高，因此激光退火后容易石墨化。
汤定元1，夏义本2，李志锋1，郑国珍1，史伟民3，居建华3，黄志明1，张伟丽3，王林军3
(1.中国科学院上海技术物理研究所 ,;
2.上海大学材料科学与工程学院，上海 201800;
3.上海大学材料科学与工程学院,)
摘要:采用显微拉曼光谱研究了掺氮的类金刚石薄膜,该薄膜分别经过能量密度为300,750和1500W/mm2氩离子激光的退火处理。分析结果表明氮原子在类金刚石薄膜中形成了C－N键制约了C－H键的形成。由于C－N键的键能比C－H键的键能大得多，因此在激光退火过程中C－N键不易分解。所以随着氮含量的增加，类金刚石薄膜的激光退火后石墨化程度明显降低，具有比较好的热稳定性。而非掺氮的类金刚石薄膜由于C－H键含量比较高，因此激光退火后容易石墨化。
关键词:类金刚石薄膜; 激光退火; 拉曼光谱; 热稳定性;
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