简介概要

金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线

来源期刊：材料导报2013年第23期

论文作者：姚日晖陈梓铭王志恒陈颖聪陈津桥

文章页码：1 - 6

关键词：金属催化化学腐蚀;硅;纳米线;

摘要：主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线。首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件,然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等各种因素对金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线的影响。

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姚日晖^1,2，陈梓铭^1,2，王志恒¹，陈颖聪¹，陈津桥¹

1. 华南理工大学材料科学与工程学院2. 华南理工大学发光材料与器件国家重点实验室

关键词：金属催化化学腐蚀;硅;纳米线;