应用离子束混合技术研制气敏-热敏多功能陶瓷材料
来源期刊：功能材料2002年第4期
论文作者：徐政 陈晓明 闫玉华 樊东辉 李世普
关键词：离子束; 多功能; 热敏陶瓷;
摘 要：以PTC BaTiO3热敏陶瓷为基底材料,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2气体敏感薄膜.应用X射线衍射(XRD)和光电子能谱技术(XPS)对样品薄膜层的物相及化学结合状态进行较为详细的分析.
徐政1，陈晓明2，闫玉华2，樊东辉1，李世普2
(1.同济大学材料学院微电子材料研究所,上海,200092;
2.武汉理工大学生物材料研究中心,湖北武汉,430070)
摘要:以PTC BaTiO3热敏陶瓷为基底材料,在其表面利用离子束混合技术成功地制备了SnO2气体敏感薄膜.应用X射线衍射(XRD)和光电子能谱技术(XPS)对样品薄膜层的物相及化学结合状态进行较为详细的分析.
关键词:离子束; 多功能; 热敏陶瓷;
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