离心辅助微模塑法制备Fe-Ni合金微流道

周晗^1,2，郭铁明¹，孟军虎²，苏博^2,3

1. 兰州理工大学材料科学与工程学院2. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室3. 中国科学院大学

摘 要：采用离心辅助微模塑方法,制备了Fe-Ni合金微流道。着重考察了分散剂含量和pH值对浆料分散性的影响,结果表明当分散剂含量为1.5wt%和pH=4时,Fe-Ni乙醇基浆料的分散性最好。用聚二甲基硅氧烷（PDMS）复制带有微结构的原始硅模板,在PDMS弹性模上采用离心注模方法进行浆料的微成形。最终制备出微结构完整、表面无裂纹、致密的Fe-Ni合金微流道,其最大线性收缩率为12.7%,致密度为97.3%,说明离心辅助微模塑法是一种可行的微器件制备方法。

关键词：微模塑;离心注模;Fe-Ni合金;微流道;