氧化铍金刚石膜及其导热性能

来源期刊：粉末冶金材料科学与工程2009年第1期

论文作者：方梅 余志明 肖柱 陈爽 陈永勤

文章页码：32 - 35

关键词：热丝化学气相沉积;金刚石薄膜;氧化铍;热导率;

摘    要：提高氧化铍的热导率,既能助其开拓新的发展空间,又能满足电子器件的散热需求,因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜。通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶体形貌;采用X射线衍射仪分析薄膜成分;借助热物性激光测试仪测量金刚石膜/氧化铍基复合体的热扩散系数,并计算其热导率。结果表明:镀膜后可使氧化铍的热导率提高12.1%～34.4%;基体预处理方法、金刚石膜和氧化铍基体的串、并联方式对复合体的热导率均有较大影响。