化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究
来源期刊：材料热处理学报2005年第3期
论文作者：周美玲 王从曾 毕安园 马捷
关键词：化学气相沉积; 钼; 显微组织;
摘 要：介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法.以MoF6和H2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层.分析研究了沉积层的组织、结构和硬度.实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达677HV;沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼.
周美玲1，王从曾1，毕安园1，马捷1
(1.北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京,100022)
摘要:介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法.以MoF6和H2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层.分析研究了沉积层的组织、结构和硬度.实验结果表明:沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同,沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构,沉积层硬度可达677HV;沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶,硬度稍高于一般烧结钼.
关键词:化学气相沉积; 钼; 显微组织;
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