预热处理温度对低温制备Mn掺杂ZnO薄膜结构和阻变性能的影响

来源期刊：兵器材料科学与工程2015年第2期

论文作者：陈齐松 王华 许积文 韦长成 张玉佩

文章页码：36 - 40

关键词：Mn掺杂ZnO;溶胶凝胶;阻变特性;预热处理;

摘    要：以水合乙酸锌、水合乙酸锰为前驱体,利用溶胶-凝胶旋涂法在p+-Si衬底上制备Mn掺杂的ZnO阻变薄膜（MZO）。研究工艺中预热处理温度对薄膜的微观结构、阻变特性的影响,分析了薄膜高阻态和低阻态的导电机理。结果表明:经250、300℃预热处理的MZO薄膜孔洞较多,而经350℃预热处理的MZO薄膜致密,无孔洞且呈c轴择优取向生长;经不同温度预热处理所制备的Ag/MZO/p+-Si器件均呈双极性的阻变特性,但经350℃预热处理的器件样品具有更显著的阻变行为和更高的高、低电阻比RHRS/RLRS（104¹06）;器件在高阻态的低压区为欧姆导电,高阻态高压区为肖特基发射电流传导,在低阻态为空间电荷限制电流（SCLC）传导。