溅射气压对WO₃薄膜电致变色器件性能的影响

来源期刊：稀有金属与硬质合金2015年第5期

论文作者：王伟 李合琴 陶磊 张学科 乔恺 周矗 黄依琴 左敏

文章页码：30 - 71

关键词：WO3薄膜;电致变色器件;直流磁控溅射;溅射气压;表面形貌;透过率;

摘    要：采用磁控溅射法,以溅射气压为变量,在ITO导电玻璃上制备了WO3薄膜及TiO2薄膜,将Li+聚合物电解质涂覆于这两种薄膜之间封装成固态电致变色器件。采用XRD、AFM对WO3薄膜进行结构表征和形貌观察;采用直流稳压电源对器件进行电致变色测试,并以分光光度计测定其着色/褪色态可见光透过率。结果表明:1.5Pa溅射气压下原位沉积WO3薄膜含较多的金属W;2.0³.0Pa溅射气压下得到了非晶态WO3薄膜;2.0Pa溅射气压下得到的WO3薄膜表面分布有狭长的颗粒团簇,表面积较大,便于着色或褪色时Li+与电子的注入或脱出,故其所封装器件的调制幅度最大,响应最快;随溅射气压的增大,WO3薄膜表面缺陷增多,器件变色性能恶化。