扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定
来源期刊：理化检验物理分册2003年第1期
论文作者：王承忠 纪红玲 斯初阳 朱莉
关键词：扫描电镜; 微米级长度; 不确定度;
摘 要：对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究.最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的扩展的不确定度.
王承忠1，纪红玲1，斯初阳1，朱莉1
(1.上海宝钢研究院分析测试研究中心,上海,201900)
摘要:对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定.对引起不确定度性的许多因素,如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算,特别对输入变量相关时的合成问题作了研究.最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的扩展的不确定度.
关键词:扫描电镜; 微米级长度; 不确定度;
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