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厚膜永磁阵列微致动器的磁路研究

来源期刊：功能材料与器件学报2003年第4期

论文作者：蒋洪川张文旭彭斌张万里杨仕清

关键词：永磁阵列; 磁场分布; 电磁力; 微致动器;

摘要：研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大,磁体单元高宽比为0.7是一个比较合适的尺寸.

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蒋洪川¹，张文旭¹，彭斌¹，张万里¹，杨仕清¹

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054)

摘要:研究了厚膜永磁阵列微致动器中的磁场分布,并研究了永磁阵列单元几何尺寸对微致动器电磁力的影响.结果表明,厚膜永磁阵列单元高宽比和磁体单元间隔对微致动器电磁力影响较大,磁体单元高宽比为0.7是一个比较合适的尺寸.

关键词:永磁阵列; 磁场分布; 电磁力; 微致动器;

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