喷射沉积过程中实时检测技术研究的新进展
来源期刊:材料导报2001年第11期
论文作者:崔成松 曲迎东 陈善本 曹福洋 李庆春
关键词:喷射沉积; 实时检测;
摘 要:综述了喷射沉积过程的多种状态参量实时检测技术,着重介绍了这些检测技术的最新进展情况,并对其发展和应用作出了评价和展望.
崔成松1,曲迎东1,陈善本2,曹福洋1,李庆春1
(1.哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,;
2.上海交通大学材料科学与工程学院,)
摘要:综述了喷射沉积过程的多种状态参量实时检测技术,着重介绍了这些检测技术的最新进展情况,并对其发展和应用作出了评价和展望.
关键词:喷射沉积; 实时检测;
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