简介概要

固体电解质(玻璃)与硅的阳极连接机理及界面分析

来源期刊：材料导报2006年增刊第1期

论文作者：秦会峰胡利方宋永刚孟庆森

关键词：Pyrex玻璃; 硅; 阳极连接; 静电场力;

摘要：固体电解质(玻璃)与硅片通过阳极连接可以实现良好键合.采用SEM和EDS对界面结构进行了分析.连接的过程与由耗尽层产生的静电场力有紧密关系,通过建立的模型分析了电场力产生的原因.实验表明:温度、压力、连接时间、表面光洁度、电压是影响连接质量的重要因素,优化连接参数是形成良好连接界面的前提.

详情信息展示

秦会峰¹，胡利方¹，宋永刚¹，孟庆森¹

(1.太原理工大学材料科学与工程学院,太原,030024)

摘要:固体电解质(玻璃)与硅片通过阳极连接可以实现良好键合.采用SEM和EDS对界面结构进行了分析.连接的过程与由耗尽层产生的静电场力有紧密关系,通过建立的模型分析了电场力产生的原因.实验表明:温度、压力、连接时间、表面光洁度、电压是影响连接质量的重要因素,优化连接参数是形成良好连接界面的前提.

关键词:Pyrex玻璃; 硅; 阳极连接; 静电场力;

【全文内容正在添加中】