OHT搬运系统防阻塞调度策略

来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2015年第2期

论文作者：刘晓斌 周炳海

文章页码：176 - 181

关键词：OHT(高空提升运输);搬运系统;调度;阻塞;

摘    要：为有效解决300 mm半导体晶圆制造工厂搬运系统整合式布局运行过程中的阻塞现象,提高搬运系统的运行效率,构建了OHT(高空提升运输)搬运系统防阻塞调度策略.首先,充分考虑OHT搬运系统中各搬运设备之间的相互影响,以搬运完工时间最小为优化目标,建立数学模型.然后,提出无等待轨道设计(NWL)和基于检测点的空车运行策略(CBCP)避免装卸点阻塞.结合第K短路径法和时间约束集概念,构建OHT搬运系统防阻塞策略(VCAP),并将其运用于OHT搬运系统的具体调度,设计OHT搬运系统防阻塞调度方法.最后进行仿真实验及对比分析,结果表明本文提出的防阻塞调度策略是有效可行的.