基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺

王跃林¹，车录锋¹，池积光¹

(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)

摘要:研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块.最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器.

关键词:塑性变形; 自对准; 梳齿驱动; 非平面驱动;

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