溶胶-凝胶法制备ZrO2缓冲膜的研究
来源期刊:无机材料学报2000年第3期
论文作者:胡行方 王晓萍 于云
关键词:ZrO2; 溶胶-凝胶; 缓冲膜; 热发射率; 互扩散;
摘 要:本文用溶胶-凝胶技术,以无机盐氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)为前驱体,在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜,并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜.通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明,不锈钢箔基体上的四方ZrO2膜在(200)晶面上有择优取向的特点,缓冲膜与基体之间存在着一定程度的互扩散作用.同时,法向热发射率的测试结果表明,850C热处理后材料仍能保持极低的热发射率(ε=0.043),说明缓冲膜有效地阻挡了金膜与基体之间的高温互扩散作用.
胡行方1,王晓萍1,于云1
(1.中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050)
摘要:本文用溶胶-凝胶技术,以无机盐氧氯化锆(ZrOCl2.8H2O)为前驱体,在不锈钢表面上制备了含SiO2相的ZrO2缓冲膜,并用真空蒸镀法在其上沉积一层厚度为150nm的金膜.通过XRD、FTIR、SEM及AES等测试手段对ZrO2缓冲膜的性能及其热处理过程中的物理化学变化进行了表征.结果表明,不锈钢箔基体上的四方ZrO2膜在(200)晶面上有择优取向的特点,缓冲膜与基体之间存在着一定程度的互扩散作用.同时,法向热发射率的测试结果表明,850C热处理后材料仍能保持极低的热发射率(ε=0.043),说明缓冲膜有效地阻挡了金膜与基体之间的高温互扩散作用.
关键词:ZrO2; 溶胶-凝胶; 缓冲膜; 热发射率; 互扩散;
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