衬底温度对ZnS薄膜微结构和应力的影响
来源期刊：功能材料2006年第7期
论文作者：蔡琪 宋学萍 曹春斌 江锡顺 孙兆奇
关键词：ZnS薄膜; 衬底温度; 微结构; 应力;
摘 要：采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底上制备了厚度为320nm的ZnS薄膜,用XRD和光学相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应力.结果表明:不同温度衬底上沉积的ZnS薄膜均呈多晶状态,衬底温度由50℃上升到400℃的过程中,其择优取向发生了变化,晶粒有明显的生长方向;ZnS薄膜应力随着衬底温度升高逐渐减小,衬底温度在250～350℃之间的ZnS薄膜应力较小且在选区内分布比较均匀.
蔡琪1，宋学萍1，曹春斌1，江锡顺1，孙兆奇1
(1.安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039)
摘要:采用射频磁控溅射法分别在不同温度衬底上制备了厚度为320nm的ZnS薄膜,用XRD和光学相移技术研究了不同衬底温度下薄膜的微结构和应力.结果表明:不同温度衬底上沉积的ZnS薄膜均呈多晶状态,衬底温度由50℃上升到400℃的过程中,其择优取向发生了变化,晶粒有明显的生长方向;ZnS薄膜应力随着衬底温度升高逐渐减小,衬底温度在250～350℃之间的ZnS薄膜应力较小且在选区内分布比较均匀.
关键词:ZnS薄膜; 衬底温度; 微结构; 应力;
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