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纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展

来源期刊：功能材料2006年第12期

论文作者：柳清菊朱忠其张瑾赵宗彦

关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜; 绝热材料; 绝热机理;

摘要：作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注.研究表明其绝热性能与微观结构密切相关.综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向.

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柳清菊¹，朱忠其¹，张瑾¹，赵宗彦¹

(1.云南大学,材料科学与工程系,云南,昆明,650091)

摘要:作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注.研究表明其绝热性能与微观结构密切相关.综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向.

关键词:纳米多孔二氧化硅薄膜; 绝热材料; 绝热机理;

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