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超声振荡辅助制备铜基碳纳米管复合电镀层工艺

来源期刊：复合材料学报2006年第5期

论文作者：汪红王裕超丁桂甫姚锦元吴惠箐

关键词：碳纳米管; 复合电镀; 铜基复合镀层; 超声振荡;

摘要：为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层.利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好.依据实验结果对超声振荡在复合电镀过程中发挥作用的机制给出了初步的解释.

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汪红¹，王裕超¹，丁桂甫¹，姚锦元¹，吴惠箐¹

(1.上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030)

摘要:为解决碳纳米管在铜基体中的分散与结合两个问题,运用超声振荡辅助复合电镀制备铜基碳纳米管(Cu/CNTs)复合镀层.利用场发射扫描电镜进行观察,复合镀层微观表面平整,碳纳米管在基体中均匀分散,其与基体结合良好.依据实验结果对超声振荡在复合电镀过程中发挥作用的机制给出了初步的解释.

关键词:碳纳米管; 复合电镀; 铜基复合镀层; 超声振荡;

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