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惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材研究

来源期刊：稀有金属2006年第5期

论文作者：赵鑫王星明储茂友王赞海郭奋沈剑韵

关键词：溅射靶材; W/Ti合金靶材; 扩散阻挡层; 热压;

摘要：用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材.

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赵鑫¹，王星明¹，储茂友¹，王赞海¹，郭奋²，沈剑韵¹

(1.北京有色金属研究总院矿物资源与冶金材料研究所,北京,100088;
2.北京化工大学教育部超重力研究中心,北京,100029)

摘要:用W粉和Ti粉作原料, 采用惰性气体热压法制备W/Ti合金靶材. 研究了靶材致密性、富Ti的β相含量、微观结构均匀性与工艺条件的关系. 结果表明, 控制温度在1250～1450 ℃之间, 压力在20 Mpa左右, 保温时间在30 min左右可制备高性能的W/Ti合金靶材.

关键词:溅射靶材; W/Ti合金靶材; 扩散阻挡层; 热压;

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