XPS和TOF-SIMS在硬盘驱动器(HDD)磁头表面微污染分析中的应用
来源期刊：理化检验-化学分册2001年第2期
论文作者：刘义为 蒋致诚
关键词：XPS; TOFSIMS; 微污染;
摘 要：XPS和TOF-SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分，找出污染物的来源；XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息，而TOF-SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。
刘义为1，蒋致诚2
(1.广东省东莞市新科磁电厂MTE部,;
2.Visiting Professor from Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Science)
摘要:XPS和TOF-SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分，找出污染物的来源；XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息，而TOF-SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。
关键词:XPS; TOFSIMS; 微污染;
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