电容式非制冷红外探测器的设计与热力学特性分析
来源期刊：功能材料与器件学报2008年第2期
论文作者：马盛林 汤雅权 于晓梅
关键词：非制冷; 红外探测器; 温度响应度; 位移响应度; ANSYS;
摘 要：本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析.使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响.红外探测器的温度响应和位移响应与吸收的红外辐射能量呈线性关系;随着红外探测器结构尺寸的增加,其温度响应度、位移响应度、热时间常数都随之增加,探测能力增强,但瞬态响应特性降低;当铝膜与氮化硅层的厚度比为0.5～0.6时,器件的位移响应度最大.
马盛林1，汤雅权1，于晓梅1
(1.北京大学微电子学研究院,微米纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871)
摘要:本文设计了一种基于MEMS工艺的电容式非制冷红外探测,并利用ANSYS对器件的热力学特性进行了分析.使用ANSYS模拟研究了器件温度响应、位移响应与吸收的红外辐射能量的关系,研究了器件结构尺寸对器件性能参数的影响.红外探测器的温度响应和位移响应与吸收的红外辐射能量呈线性关系;随着红外探测器结构尺寸的增加,其温度响应度、位移响应度、热时间常数都随之增加,探测能力增强,但瞬态响应特性降低;当铝膜与氮化硅层的厚度比为0.5～0.6时,器件的位移响应度最大.
关键词:非制冷; 红外探测器; 温度响应度; 位移响应度; ANSYS;
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