影响氧化锌纳米材料场发射性能的因素
来源期刊:工程科学学报2007年第S2期
论文作者:倪赛力 常永勤 陈喜红 张寅虎 多永正 强文江 龙毅
文章页码:122 - 125
关键词:氧化锌纳米阵列;场发射;形貌;稳定性;
摘 要:采用物理气相沉积的方法通过控制生长参数,在硅衬底上获得不同形貌的氧化锌纳米阵列.在金属场发射系统中测量了它们的场致电子发射性能,发现阴极发射电流不稳定主要是由于氧化锌纳米阵列的不均匀性造成的.采用高压励炼技术可以增强氧化锌场发射的稳定性,使电流波动明显降低.此外,形貌对氧化锌纳米阵列的场发射电流密度和阈值电压有明显影响,而且不同形貌的氧化锌纳米阵列的抗溅射能力也不相同.
倪赛力1,常永勤1,陈喜红2,张寅虎1,多永正1,强文江1,龙毅1
1. 北京科技大学材料科学与工程学院2. 北京大学物理学院
摘 要:采用物理气相沉积的方法通过控制生长参数,在硅衬底上获得不同形貌的氧化锌纳米阵列.在金属场发射系统中测量了它们的场致电子发射性能,发现阴极发射电流不稳定主要是由于氧化锌纳米阵列的不均匀性造成的.采用高压励炼技术可以增强氧化锌场发射的稳定性,使电流波动明显降低.此外,形貌对氧化锌纳米阵列的场发射电流密度和阈值电压有明显影响,而且不同形貌的氧化锌纳米阵列的抗溅射能力也不相同.
关键词:氧化锌纳米阵列;场发射;形貌;稳定性;