Ⅱb型金刚石单晶的制备和半导体特性研究进展
来源期刊:功能材料2003年第6期
论文作者:尹龙卫 宫建红 李木森 崔建军 许斌
关键词:人造金刚石; 半导体性能; 硼;
摘 要:Ⅱb型金刚石由于具有极佳的半导体性能,适合于制造高性能电力电子器件,可以在更高的温度和恶劣的环境下正常工作,是一种有发展前途的高温、大功率半导体材料.本文从结构、合成方法、半导体特性和应用等方面阐述了Ⅱb型半导体金刚石的研究现状,在此基础上提出了今后的研究方向.
尹龙卫1,宫建红1,李木森1,崔建军1,许斌1
(1.山东大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250016;
2.山东建筑工程学院,材料科学与工程系,山东,济南,250014)
摘要:Ⅱb型金刚石由于具有极佳的半导体性能,适合于制造高性能电力电子器件,可以在更高的温度和恶劣的环境下正常工作,是一种有发展前途的高温、大功率半导体材料.本文从结构、合成方法、半导体特性和应用等方面阐述了Ⅱb型半导体金刚石的研究现状,在此基础上提出了今后的研究方向.
关键词:人造金刚石; 半导体性能; 硼;
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