保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

来源期刊：材料科学与工程学报2016年第4期

论文作者：林涛 孙艳辉 段春艳 章大钧

文章页码：643 - 1318

关键词：保温时间;定向凝固;多晶硅;提纯;

摘    要：本文采用#3303工业硅作为定向凝固的原料提纯多晶硅锭。实验过程中保持拉锭速度和冷却水流量为常数,并分别以不同的保温时间作为试验参数进行实验。采用金相显微镜（Metalloscope）和扫描电子显微镜（SEM）对硅锭微观形貌进行表征,结果显示,硅锭的底部杂质含量最少。定向凝固过程中杂质从硅锭的底部朝着硅锭的顶部方向聚集。用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）对硅锭杂质含量进行分析,结果显示,效果最好的实验保温时间是30分钟,并由此可以推断保温时间越长,硅锭中的杂质含量越少。