喷射电沉积Cu-Al2O3复合电铸层性能研究
来源期刊：材料科学与工艺2008年第5期
论文作者：黄因慧 陈劲松 田宗军 刘志东
关键词：喷射电沉积; 纳米复合铸层; 性能; 显微硬度; 电流密度; 喷射速度;
摘 要：利用喷射电沉积工艺制备了Cu-Al2O3纳米复合铸层,分析了纳米Al2O3颗粒添加量,阴极电流密度以及电铸液喷射速度对复合电铸层中纳米颗粒复合量的影响,采用扫描电镜(SEM)及其附带的能谱仪(EDS)对复合电铸层的微观形貌和铸层成分进行了分析,研究了复合电铸层中纳米颗粒复合量对其显微硬度的影响.结果表明,铜沉积层具有纳米晶微观结构,平均晶粒尺寸约为50 nm;纳米Al2O3颗粒在沉积层中的复合量可达14.43(at%);纳米复合铸层的显微硬度有明显提高,约为普通粗铜的10.5倍.
黄因慧1，陈劲松1，田宗军1，刘志东1
(1.南京航空航天大学机电学院,南京,210016)
摘要:利用喷射电沉积工艺制备了Cu-Al2O3纳米复合铸层,分析了纳米Al2O3颗粒添加量,阴极电流密度以及电铸液喷射速度对复合电铸层中纳米颗粒复合量的影响,采用扫描电镜(SEM)及其附带的能谱仪(EDS)对复合电铸层的微观形貌和铸层成分进行了分析,研究了复合电铸层中纳米颗粒复合量对其显微硬度的影响.结果表明,铜沉积层具有纳米晶微观结构,平均晶粒尺寸约为50 nm;纳米Al2O3颗粒在沉积层中的复合量可达14.43(at%);纳米复合铸层的显微硬度有明显提高,约为普通粗铜的10.5倍.
关键词:喷射电沉积; 纳米复合铸层; 性能; 显微硬度; 电流密度; 喷射速度;
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