三氯氢硅合成工艺及控制
来源期刊：云南冶金2010年第5期
论文作者：李文光 李光茜 罗平 谭宗国
文章页码：44 - 47
关键词：三氯氢硅;流化态沸腾炉;串级控制;比例控制;
摘 要：介绍了三氯氢硅的基本性质、用途、生产工艺和生产设备,并针对生产过程的要求提出了控制解决方案。
李文光，李光茜，罗平，谭宗国
昆明冶研新材料股份有限公司
有色金属在线官网 | 会议 | 在线投稿 | 购买纸书 | 科技图书馆
中南大学出版社 技术支持 版权声明 电话：0731-88830515 88830516 传真：0731-88710482 Email:administrator@cnnmol.com
互联网出版许可证：（署）网出证（京）字第342号 京ICP备17050991号-6 京公网安备11010802042557号
