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二步热氧化法制备SnO2薄膜的特性

来源期刊：功能材料与器件学报2009年第4期

论文作者：刘贵昂邵乐喜潘喜诚李栋宇

关键词：SnO2薄膜; 热氧化法; 蒸发; SnO2 films; thermal oxidization; evaporation;

摘要：氧化温度有很大的联系.通过UV-VIS透过光谱得知随着氧化温度的升高,SnO2薄膜的光透过率也升高,光学禁带宽度也随着氧化温度的升高而升高.这种制备SnO2薄膜的工艺具有适于大面积制造,低成本,过程容易控制等很多优点.

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刘贵昂¹，邵乐喜¹，潘喜诚¹，李栋宇¹

(1.湛江师范学院物理科学与技术学院,湛江,524048)

摘要:氧化温度有很大的联系.通过UV-VIS透过光谱得知随着氧化温度的升高,SnO2薄膜的光透过率也升高,光学禁带宽度也随着氧化温度的升高而升高.这种制备SnO2薄膜的工艺具有适于大面积制造,低成本,过程容易控制等很多优点.

关键词:SnO2薄膜; 热氧化法; 蒸发; SnO2 films; thermal oxidization; evaporation;

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