改良西门子法制备工艺及其生产技术现状
来源期刊：云南冶金2011年第1期
论文作者：徐远志
文章页码：52 - 55
关键词：改良西门子法;理论基础;技术现状;
摘 要：对改良西门子法生产多晶硅的原则流程、理论基础,工艺流程的优缺点进行了阐述和分析;剖析了目前工业生产中的技术现状。
徐远志
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