薄膜光伏材料铜铟镓硒的研究进展
来源期刊:材料科学与工程学报2013年第3期
论文作者:房文健 刘永生 杨晶晶 方津 彭麟 杨正龙
文章页码:473 - 478
关键词:铜铟镓硒;结构性质;磁控溅射;电化学沉积法;
摘 要:综述了CuIn1-xGaxSe2(CIGS)的晶体结构、光学性质和电学性质,介绍了其禁带宽度、导电类型、吸收系数、晶界面复合速率和少子寿命等重要参数。重点介绍了利用磁控溅射系统制备CIGS薄膜的两种制备工艺:磁控溅射金属预制层硒化法和单步溅射法;综述了非真空制备工艺中常用的电化学沉积法。分析了CIGS现存问题:制备工艺复杂、成本高,稀有金属In、Ga的短缺;并提出了相应的解决措施及发展趋势。
房文健1,刘永生1,杨晶晶1,方津1,彭麟1,杨正龙2
1. 上海电力学院太阳能研究所2. 同济大学先进土木工程材料教育部重点实验室
摘 要:综述了CuIn1-xGaxSe2(CIGS)的晶体结构、光学性质和电学性质,介绍了其禁带宽度、导电类型、吸收系数、晶界面复合速率和少子寿命等重要参数。重点介绍了利用磁控溅射系统制备CIGS薄膜的两种制备工艺:磁控溅射金属预制层硒化法和单步溅射法;综述了非真空制备工艺中常用的电化学沉积法。分析了CIGS现存问题:制备工艺复杂、成本高,稀有金属In、Ga的短缺;并提出了相应的解决措施及发展趋势。
关键词:铜铟镓硒;结构性质;磁控溅射;电化学沉积法;