BST薄膜的研究现状与发展趋势
来源期刊:材料导报2003年第7期
论文作者:刘江华 江娟 章天金 张柏顺
关键词:BST薄膜; 性能; 制备; 电极材料; 掺杂;
摘 要:综述了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜材料的研究现状,包括薄膜的制备技术、电极材料的选择、组分与掺杂对电学及介电性能的影响,分析了与薄膜相关的缺陷和可靠性现象,并对未来可能的进展作了简单的描述.
刘江华1,江娟1,章天金1,张柏顺1
(1.湖北大学物电学院,武汉,430062)
摘要:综述了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜材料的研究现状,包括薄膜的制备技术、电极材料的选择、组分与掺杂对电学及介电性能的影响,分析了与薄膜相关的缺陷和可靠性现象,并对未来可能的进展作了简单的描述.
关键词:BST薄膜; 性能; 制备; 电极材料; 掺杂;
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