非晶ZnTiSnO薄膜的溶液燃烧法制备与TFT器件性能

来源期刊：材料科学与工程学报2017年第2期

论文作者：冯丽莎 江庆军 叶志镇 吕建国

文章页码：177 - 180

关键词：溶液燃烧法;ZnTiSnO薄膜;非晶态;薄膜晶体管;

摘    要：本文采用溶液燃烧法,在较低温度下成功制备出非晶ZnTiSnO(ZTTO)薄膜,用作沟道层制备薄膜晶体管(TFT)。研究了Ti掺入对薄膜的结构、光学性能、元素化学态以及对TFT器件电学性能影响。研究结果表明,所制得的ZTTO薄膜均为非晶结构,可见光透过率大于84%;适量Ti的掺入可作为载流子抑制剂有效降低薄膜中的氧空位缺陷浓度,从而提升TFT器件性能。当Zn/Ti摩尔百分比为30/1时,ZTTO TFT性能良好,开关比可达3.54×10~5。