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等离子体氮化与物理气相沉积复合处理的研究进展

来源期刊：机械工程材料2012年第6期

论文作者：赵彦辉董利民杜昊肖金泉于宝海

文章页码：1 - 75

关键词：等离子体氮化;物理气相沉积;复合处理;组织;性能;

摘要：简要综述了等离子体氮化及物理气相沉积复合处理的新进展,主要介绍了复合处理的工艺进展、复合处理镀层的组织结构、膜/基结合力、耐磨性和耐腐蚀性,并对复合处理的应用前景进行了展望。

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赵彦辉¹，董利民¹，杜昊¹，肖金泉¹，于宝海¹

1. 中国科学院金属研究所

关键词：等离子体氮化;物理气相沉积;复合处理;组织;性能;