扩散热处理对316L不锈钢表面钯/铁薄膜形貌和相组成的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年第3期
论文作者：徐可为 李争显 程何祥 牛金龙 马波 周廉 于振涛
关键词：不锈钢; 靶合金; 电弧离子镀; 扩散热处理;
摘 要：采用真空电弧离子镀工艺,在316L不锈钢表面沉积钯/铁(Pd/Fe)合金薄膜并进行真空扩散热处理,观察扩散热处理工艺对Pd/Fe薄膜的形貌和相组成的影响.结果表明:采用真空电弧离子镀工艺,可在316L不锈钢表面沉积均匀的Pd/Fe膜;扩散热处理工艺对Pd/Fe膜的形貌和相组成有显著影响.经900℃保温1 h处理后,Pd膜与Fe膜间互扩散形成一定量的Pd-Fe合金相;随着热处理温度升高,Pd,Fe膜层向316L基体扩散的距离增大,同时基体中的Cr,Ni向外扩散的量也增多.
徐可为1，李争显2，程何祥2，牛金龙2，马波2，周廉2，于振涛2
(1.西安交通大学,陕西,西安,710049;
2.西北有色金属研究院,陕西,西安,710016;
3.第四军医大学西京医院,陕西,西安,710032)
摘要:采用真空电弧离子镀工艺,在316L不锈钢表面沉积钯/铁(Pd/Fe)合金薄膜并进行真空扩散热处理,观察扩散热处理工艺对Pd/Fe薄膜的形貌和相组成的影响.结果表明:采用真空电弧离子镀工艺,可在316L不锈钢表面沉积均匀的Pd/Fe膜;扩散热处理工艺对Pd/Fe膜的形貌和相组成有显著影响.经900℃保温1 h处理后,Pd膜与Fe膜间互扩散形成一定量的Pd-Fe合金相;随着热处理温度升高,Pd,Fe膜层向316L基体扩散的距离增大,同时基体中的Cr,Ni向外扩散的量也增多.
关键词:不锈钢; 靶合金; 电弧离子镀; 扩散热处理;
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