医用316L不锈钢表面沉积Fe/Pt和Pt/Fe/Pt磁性薄膜的研究
来源期刊：稀有金属材料与工程2007年第11期
论文作者：罗丽娟 李争显 杨治军 蔡玉荣 周廉 于振涛
关键词：316L不锈钢; 磁性薄膜; 电弧离子镀; Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜;
摘 要：采用真空电弧离子镀技术,在316L医用不锈钢基片上沉积Fe/Pt和Pt/Fe/Pt多层膜.Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜在初始沉积态是无序的fcc结构,经扩散热处理,发生相变,转变为fct有序结构的L10型Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜.经SEM、XRD分析和磁性测量表明:316L医用不锈钢表面可沉积均匀致密的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜,经扩散热处理后,Fe-Pt形成了明显的扩散层,fcc结构的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜部分转变为了fct结构,通过硬磁fct相与软磁fcc相的交换耦合作用,剩磁有了很大的提高.
罗丽娟1，李争显1，杨治军1，蔡玉荣1，周廉1，于振涛1
(1.西北有色金属研究院,陕西,西安,710016;
2.东北大学,辽宁,沈阳,110014)
摘要:采用真空电弧离子镀技术,在316L医用不锈钢基片上沉积Fe/Pt和Pt/Fe/Pt多层膜.Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜在初始沉积态是无序的fcc结构,经扩散热处理,发生相变,转变为fct有序结构的L10型Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜.经SEM、XRD分析和磁性测量表明:316L医用不锈钢表面可沉积均匀致密的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜,经扩散热处理后,Fe-Pt形成了明显的扩散层,fcc结构的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜部分转变为了fct结构,通过硬磁fct相与软磁fcc相的交换耦合作用,剩磁有了很大的提高.
关键词:316L不锈钢; 磁性薄膜; 电弧离子镀; Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜;
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