铂薄膜化学气相沉积动力学规律探讨
来源期刊：贵金属2003年第1期
论文作者：邓德国 万吉高 胡昌义 王云 高逸群 尹志民
关键词：复合材料; 铂薄膜; 化学气相沉积; 动力学;
摘 要：以乙酰丙酮铂为沉积源物质,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在Mo基体上制备了Pt薄膜.研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体(氩气)流速等沉积参数的关系.Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系,当温度为550℃时,Pt的沉积速率达到最大值;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高,Pt的沉积速率直线增加;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率.SEM波谱成分分析表明,Pt薄膜中含有少量的氧.
邓德国1，万吉高1，胡昌义2，王云1，高逸群1，尹志民2
(1.贵研铂业股份有限公司,云南,昆明,650221;
2.中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083)
摘要:以乙酰丙酮铂为沉积源物质,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在Mo基体上制备了Pt薄膜.研究了Pt薄膜的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铂的加热温度和运载气体(氩气)流速等沉积参数的关系.Pt的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈现抛物线关系,当温度为550℃时,Pt的沉积速率达到最大值;随着乙酰丙酮铂加热温度的升高,Pt的沉积速率直线增加;而氩气流速的增大则显著减少Pt的沉积速率.SEM波谱成分分析表明,Pt薄膜中含有少量的氧.
关键词:复合材料; 铂薄膜; 化学气相沉积; 动力学;
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