阳极氧化法制备TiO₂和Al₂O₃有序多孔阵列

来源期刊：材料导报2012年第4期

论文作者：韩珊珊 杨修春 王红勤 王青尧 侯军伟 陆伟

文章页码：55 - 58

关键词：阳极氧化;TiO2;Al2O3;有序多孔阵列;

摘    要：采用阳极氧化法制备了TiO2和Al2O3有序多孔阵列,并通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、莱茨光学显微镜对制备的TiO2和Al2O3有序多孔阵列进行表征。结果表明,随着氧化电压的增大,TiO2和Al2O3纳米孔的直径增加,孔密度减小。随着氧化时间的延长,TiO2和Al2O3多孔膜厚度增加,到一定时间后膜厚不变。同时讨论了阳极氧化机理,无论是制备TiO2还是Al2O3有序多孔阵列,阳极氧化过程主要由3个阶段组成:阻挡层的形成、阻挡层的溶解、多孔层的稳定生长。