退火对立方相MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性质影响
来源期刊：无机材料学报2006年第4期
论文作者：余萍 吴惠桢 徐天宁 陈乃波
关键词：立方相MgxZn1-xO薄膜; 退火; 晶体结构; 光学性质; 电学性质;
摘 要：在蓝宝石(0001)衬底上低温生长立方相MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜,用X射线衍射(XRD)和透射光谱分析高温退火对薄膜的结构和光学性质的影响.结果表明:对Mg0.53Zn0.47O薄膜,在900℃的退火温度下,(0002)衍射峰以及透射光谱上双吸收边的出现均表明有六方结构从其立方结构中分离出来;但对于Mg含量高于55%的样品,即使经历了1000℃的高温退火,也不会有任何相分裂现象出现.而电学测试结果表明,高温下热稳定性良好的立方相Mg0.55Zn0.45O晶体薄膜还能用于金属-绝缘体-半导体的绝缘层,并且漏电流小.由此可以判断,x≥0.55的超饱和MgxZn1-xO薄膜具有稳定的立方相晶体结构和优良的光学、电学性质,因而是制作高质量的光电子器件和量子阱激光器的理想材料.
余萍1，吴惠桢1，徐天宁1，陈乃波3
(1.浙江大学物理系,杭州,310027;
2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海,200050;
3.浙江工业大学之江学院理学系,杭州,310024)
摘要:在蓝宝石(0001)衬底上低温生长立方相MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜,用X射线衍射(XRD)和透射光谱分析高温退火对薄膜的结构和光学性质的影响.结果表明:对Mg0.53Zn0.47O薄膜,在900℃的退火温度下,(0002)衍射峰以及透射光谱上双吸收边的出现均表明有六方结构从其立方结构中分离出来;但对于Mg含量高于55%的样品,即使经历了1000℃的高温退火,也不会有任何相分裂现象出现.而电学测试结果表明,高温下热稳定性良好的立方相Mg0.55Zn0.45O晶体薄膜还能用于金属-绝缘体-半导体的绝缘层,并且漏电流小.由此可以判断,x≥0.55的超饱和MgxZn1-xO薄膜具有稳定的立方相晶体结构和优良的光学、电学性质,因而是制作高质量的光电子器件和量子阱激光器的理想材料.
关键词:立方相MgxZn1-xO薄膜; 退火; 晶体结构; 光学性质; 电学性质;
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