脉冲激光沉积法制备β-BBO薄膜
来源期刊：材料导报2007年第1期
论文作者：刘军芳 姚武 徐军
关键词：脉冲激光沉积; β-BBO薄膜;
摘 要：采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺在Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膊膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.采用X射线粉末衍射(XRD)、高分辨X射线衍射仪(XRC)对薄膜进行了分析测试,结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(00l)面,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000“左右,显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190 nm,但薄膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd:YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应.
刘军芳1，姚武1，徐军2
(1.同济大学材料科学与工程学院,上海,200092;
2.中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800)
摘要:采用脉冲激光沉积法、选取β-BBO陶瓷作为靶材在掺在Sr2+的α-BBO(001)衬底上进行了生长β-BBO薄膊膜的实验,生长出表面光滑、无色透明的薄膜.采用X射线粉末衍射(XRD)、高分辨X射线衍射仪(XRC)对薄膜进行了分析测试,结果表明,所制备的β-BBO薄膜择优取向为(00l)面,薄膜的双晶摇摆曲线半峰宽值FWHM为1000“左右,显示出β-BBO薄膜较好的结晶质量,其紫外吸收边同β-BBO单晶一样也为190 nm,但薄膜的透过率略有下降.采用调Q脉冲Nd:YAG激光器观察了β-BBO薄膜的倍频效应.
关键词:脉冲激光沉积; β-BBO薄膜;
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