TiC/i－C复合硬质膜的过渡层界面和特性的研究

来源期刊：功能材料与器件学报2001年第3期

论文作者：严学俭

关键词：过渡层界面; 复合膜; 附着强度;

摘    要：探讨在i－C（离子辅助沉积）硬质无定形碳膜和钢基基片之间加入碳化钛（TiC）过渡层，以增加膜/基附着力和结合强度的各种优越性。SEM（扫描电镜）和EPMA（电子探针微分析）测试显示TiC中间过渡层与i－C层及基片的界面处的附着结合强度得以改善。划痕测试仪对该复合膜测试则从另一方面提供了膜/基结合强度提高的证据。对该复合膜的宏观机械力学性能的测试表明，它在提高了膜/基结合强度的同时，保持了类金刚石薄膜超高硬度和低摩擦系数的优良特性。