聚乙烯促进低压气相金刚石成核的机理
来源期刊：工程科学学报1994年第2期
论文作者：王建军 吕反修 杨保雄
关键词：金刚石－膜;形成－晶核;聚乙烯;
摘 要：研究了在微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）条件下，聚乙烯对金刚石在单晶硅衬底上形核的影响．发现预先涂覆在硅衬底的聚乙烯显著地促进了金刚石的形核；提出了聚乙烯促进金刚石形核的机理和具有ＳＰ３杂化结构的含碳活化粒子过饱和度概念及其促进金刚石形核的观点．
王建军，吕反修，杨保雄
摘 要：研究了在微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）条件下，聚乙烯对金刚石在单晶硅衬底上形核的影响．发现预先涂覆在硅衬底的聚乙烯显著地促进了金刚石的形核；提出了聚乙烯促进金刚石形核的机理和具有ＳＰ３杂化结构的含碳活化粒子过饱和度概念及其促进金刚石形核的观点．
关键词：金刚石－膜;形成－晶核;聚乙烯;
