简介概要

RF溅射稀土(La,Nd)掺杂ZnO薄膜的结构

来源期刊：理化检验物理分册2008年第4期

论文作者：文军潘峰陈长乐

关键词：稀土掺杂; ZnO薄膜; X射线衍射分析; 原子力显微镜; 射频磁控溅射;

摘要：通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了未掺杂和镧、钕掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,ZnO薄膜具有c轴择优生长,镧、钕掺杂ZnO薄膜为自由生长的纳米多晶薄膜.用AFM观测薄膜的表面形貌,镧、钕掺杂ZnO薄膜表面形貌粗糙.

详情信息展示

文军¹，潘峰¹，陈长乐¹

(1.西北工业大学,应用物理系,西安,710072;
2.渭南师范学院,物理系,渭南,714000;
3.陕西理工学院,物理系,汉中,723001)

摘要:通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了未掺杂和镧、钕掺杂ZnO薄膜.XRD分析表明,ZnO薄膜具有c轴择优生长,镧、钕掺杂ZnO薄膜为自由生长的纳米多晶薄膜.用AFM观测薄膜的表面形貌,镧、钕掺杂ZnO薄膜表面形貌粗糙.

关键词:稀土掺杂; ZnO薄膜; X射线衍射分析; 原子力显微镜; 射频磁控溅射;

【全文内容正在添加中】