SOI光电子集成
来源期刊：功能材料与器件学报2003年第1期
论文作者：余金中 王启明 严清峰 王小龙 夏金松
关键词：SOI; 光电子集成电路; 光波导; SOI光波导开关; 阵列波导光栅; SOI基光探测器;
摘 要：SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光 探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.
余金中1，王启明1，严清峰1，王小龙1，夏金松1
(1.中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室,北京,100083)
摘要:SOI (Silicon- on- Insulator) 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与 CMOS 工艺完全兼容,可以实现低成本的 SOI基整片集成光电子回路.本文综述了近几年来 SOI集成光 电子器件的发展以及一些最新的研究进展 , 着重分析几种最新型光无源器件的工作原理和结构, 包括 SOI光波导、 SOI光波导耦合器、 SOI光波导开关、相位阵列波导光栅( PAWG)、基于 SOI的光 探测器等,并介绍了中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室的研究进展.
关键词:SOI; 光电子集成电路; 光波导; SOI光波导开关; 阵列波导光栅; SOI基光探测器;
【全文内容正在添加中】
