介质阻挡放电等离子体及其在材料制备中的应用

来源期刊：材料导报2010年第S1期

论文作者：杨小平 戴乐阳 曾美琴 欧阳柳章

文章页码：320 - 324

关键词：介质阻挡放电等离子体;低温等离子体;表面改性;高能球磨;

摘    要：介质阻挡放电等离子体(Dielectric barrier discharge plasma,DBDP)是一种在大气压下即可发生的低温等离子体,具有电子浓度大、电子平均能量高的特点,因此,DBDP应用在材料制备中具有独特的优势。综述了DBDP的发展历史、产生机理和基本特征、放电参数及其影响等,重点介绍了DBDP在臭氧发生、有机物合成、薄膜制备、材料表面改性、高能球磨等领域的应用,分析了研究中存在的主要问题及相应的解决方法,以期为相关领域的研究提供参考。