微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定氧化铟锡靶材中13种痕量杂质元素

来源期刊：冶金分析2019年第4期

论文作者：墨淑敏 王长华 李娜 邱长丹

文章页码：15 - 19

关键词：微波消解;电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）;氧化铟锡靶材;杂质元素;

摘    要：氧化铟锡中杂质元素的含量是衡量其产品性能的重要参数。采用盐酸以微波消解法处理样品,以Cs为内标,氩气模式下测定²⁴ Mg、²⁷ Al、⁵²Cr、⁵⁸ Ni、⁶³Cu、⁶⁴Zn、⁹⁰Zr、²⁰⁸Pb、²⁰⁵ Tl、¹¹¹ Cd,氢气碰撞反应池模式测定²⁸Si、⁴⁰Ca、⁵⁶Fe,实现了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）对氧化铟锡靶材（ITO）中镁、铝、硅、钙、铬、铁、铜、镍、锌、锆、镉、铅、铊等13种痕量杂质元素的测定。实验表明,当氧化铟锡基体质量浓度为1.00mg/mL时,基体效应可忽略;13种杂质元素在1.0～100ng/mL范围内线性良好,线性相关系数均大于0.9990。方法检出限为0.002～0.15μg/g,测定下限为0.007～0.50μg/g。将方法应用于氧化铟锡靶材样品中13种痕量杂质元素的分析,相对标准偏差（RSD,n=7）均小于5%,加标回收率为88%～114%。采用实验方法对氧化铟锡靶材样品进行分析,并与电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-AES）进行比对,二者测定值基本一致。