双层金属上电极Pt-Ag对场助热电子发射阴极发射性能的影响
来源期刊：材料导报2005年增刊第2期
论文作者：李德杰 梁晶晶
关键词：场发射; 双层金属上电极; 发射率; 退火;
摘 要：实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极Au,对金属-绝缘体-半导体-金属(MI-SM)场助热电子发射阴极发射性能方面的改善,并讨论了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影响.通过优化Pt-Ag上电极内层Pt膜厚度制备的阴极样品,其电子发射率退火前为1.8×10-4,退火后提高到7.2×10-4.
李德杰1，梁晶晶1
(1.清华大学电子工程系,北京,100084)
摘要:实验研究了采用双层金属上电极Pt-Ag相对于单层金属上电极Au,对金属-绝缘体-半导体-金属(MI-SM)场助热电子发射阴极发射性能方面的改善,并讨论了双层金属上电极各层金属厚度、退火处理对其发射性能的影响.通过优化Pt-Ag上电极内层Pt膜厚度制备的阴极样品,其电子发射率退火前为1.8×10-4,退火后提高到7.2×10-4.
关键词:场发射; 双层金属上电极; 发射率; 退火;
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